常見問題
行業概括
半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。揮發性有機廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，在這些工序中要用有機溶液（如異丙醇對晶片表面進行清洗，其揮發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一；同時，在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑（光刻膠）中含有易揮發的有機溶劑，如醋酸丁酯等在晶片處理過程中也要揮發到大氣中，是有機廢氣產生的又一來源。半導體制造工藝中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。
目前，有機廢氣排放處理措施采用大風量低濃度，其處理一般采用吸附濃縮與焚燒相結合的方法，處理效率在95%以上。
設計原則：
(1)協助企業采用科學合理的收集方式，在達到收集效果的前提下，盡量減少氣量。
(3)妥善解決項目建設及運行過程中產生的污染物，避免二次污染。
(4)嚴格執行現行的防火、安全、衛生、環境保護等GJ和地方頒布的規范、法規與標準。
(5)選擇新型、效率高、低噪設備、注意節能降耗。
半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。揮發性有機廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，在這些工序中要用有機溶液（如異丙醇對晶片表面進行清洗，其揮發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一；同時，在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑（光刻膠）中含有易揮發的有機溶劑，如醋酸丁酯等在晶片處理過程中也要揮發到大氣中，是有機廢氣產生的又一來源。半導體制造工藝中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。
目前，有機廢氣排放處理措施采用大風量低濃度，其處理一般采用吸附濃縮與焚燒相結合的方法，處理效率在95%以上。
設計原則：
(1)協助企業采用科學合理的收集方式，在達到收集效果的前提下，盡量減少氣量。
(2)積較穩妥地采用新技術、新設備，結合企業的現狀和管理水平采用先進、.的污染治理工藝，力求運行穩定、費用低、管理方便、維護容易，從而達到都消除廢氣污染、保護環境的目的。
(3)妥善解決項目建設及運行過程中產生的污染物，避免二次污染。
(4)嚴格執行現行的防火、安全、衛生、環境保護等GJ和地方頒布的規范、法規與標準。
(5)選擇新型、效率高、低噪設備、注意節能降耗。
(6)總平面布置力求緊湊、合理通暢、簡潔實用。盡量減小工程占地和施工難度。
安徽藍杰環保科技有限公司成立于2010年，是一家專注家電、化工、汽車等有機廢氣處理一站式解決方案服務商。公司主要業務有：有機廢氣處理、廢氣治理、voc廢氣處理等，服務有機廢氣客戶12000+家，客戶案例眾多，包達標、包驗收、包通過，有機廢氣找藍杰，廢氣處理更輕松！
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